ウェハー加工・加工事例
弊社でのウェハー加工・フォトリソグラフィやエッチングの加工事例です。（※社内評価での加工事例のため、加工形状を保証するものではございません。）
SiO2エッチングの加工事例
 SiO2 LS 0.3um加工 |
 SiO2 LS 0.3um加工 断面形状 |
 SiO2 LS 0.6um加工 |
 SiO2 LS 0.6um加工 断面形状 |
 SiO2深堀り加工-1 |
 SiO2深堀り加工-1 断面形状 |
 SiO2深堀り加工-2 |
 SiO2深堀り加工-2 断面形状 |
Siエッチングの加工事例
 Siエッチング加工 櫛歯 |
 Siエッチング加工 櫛歯 |
 Siエッチング加工 ライン |
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 Siエッチング加工 ハニカム |
 Siエッチング加工 ハニカム |
 Siエッチング加工 深堀り断面形状 |
 Siエッチング加工 深堀り断面形状 |
石英エッチングの加工事例
 石英 LS 100um加工 |
 石英 LS 100um加工 側面形状 |
 石英 LS 100um加工 断面形状 |
 石英 LS 100um加工 深さ |
フォトリソの加工事例
 リフトオフレジスト加工 断面形状 |
 フォトリソ加工例 LS 1μm |
 フォトリソ加工例 ハニカム |
 フォトリソ加工例 ハニカム断面形状 |
