保有機器
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機器名 |
型 式 |
メーカー |
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ワイヤーボンディング装置 |
Maxum_Ultra、IConn |
キューリック・アンド・ソファ・ジャパン（株） |
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プラズマ洗浄装置 |
SPC-100H |
（株）日立ハイテクノロジーズ |
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X線透視検査装置 |
SMX-1000 |
（株）島津製作所 |
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洗浄・乾燥装置 |
超音波純水洗浄機、乾燥保管庫 |
＜洗＞東邦化成（株）、＜乾＞ホシザキ（株） |
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真空撹拌脱泡機 |
ARE-500、ミニダッポー |
（株）シンキー、（株）シーテック |
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オートコーターデベロッパー |
LITHOTRAC Dual-1000T |
リソテックジャパン（株） |
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MS-A200、AD-1200 |
ミカサ（株） |
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露光装置 |
NSR-i10C |
（株）ニコン |
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PE-CVD成膜装置 |
P-5000 |
Applied Materials |
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CIH-130 |
（株）アルバック |
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ドライエッチング装置 |
RIE-10NR |
サムコ（株） |
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金属スパッタリング装置 |
CFS-12P-100 |
芝浦メカトロニクス（株） |
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CFS-8EP-55 |
芝浦メカトロニクス（株） |
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スピンリンスドライヤー |
SRD4300S |
SEMITOOL |
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SRD-470S-1-1-E-ML |
SEMITOOL |
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SPD160RN |
エア・ブラウン（株） |
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エリプソメーター |
L115C |
GAERTNER SCIENTIFIC |
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ウェハー表面検査装置 |
WM-3 |
（株）トプコン |
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三次元測定機 |
Crysta-Plus M776 |
（株）ミツトヨ |
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テーピング装置 |
TTI-1500D |
藤堂製作所 |
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BGA 3D検査装置 |
CI-9250 |
ICOS |
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QFPリードスキャナ装置 |
LI-700HS |
YASUNAGA |
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リール製品外観検査装置 |
TVS-505 |
藤堂製作所 |
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DIP製品外観検査装置 |
MM-160 |
藤堂製作所 |
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クリーンオーブン |
PVHC-231 |
エスペック（株） |
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SEM（走査電子顕微鏡） |
JSM-IT700HR |
日本電子（株） |
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膜厚測定装置 |
M6100A |
ナノメトリクス |
