ウェハー加工・ダイシング
お客様の様々な試作のご要求にもお応えすることが可能です。ぜひお気軽にお問い合わせください。
ウェハー加工・ダイシング装置「DFD651」
デュアルスピンドルを搭載し、表面/裏面共に高品質な ダイシングが可能です。1000w高トルクスピンドルにて、セラミック/ガラスの切断が可能です。
スペック |
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DFD651 |
対象基板=シリコン、セラミック、ガラス/対応ウェハーサイズ=4~8インチ対応/対応ウェハー厚み=0.2mm以上(0.2mm以下については、ご相談対応) |