観察・分析・測定（SEM／レーザー顕微鏡／膜厚測定装置）

SEM（走査電子顕微鏡）

φ8インチまでの基板を非破壊で観察可能です。リアルタイムでの元素分析にも対応しています。最大分解能1nmのため微細なパターンも観察できます。

SEM観察、分析のみの依頼も可能ですが事前に相談の上、実施可否については弊社で判断いたします。
※設置環境：クリーンルーム内

走査電子顕微鏡「日本電子 JSM-IT700HR」

撮影画像 50,000倍

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レーザー顕微鏡

408nmレーザーを用いて観察、計測を行い、6インチ、8インチウエハーの非破壊測定が可能なレーザー顕微鏡です。

 

 

膜厚測定装置（ナノスペック）

レジストや絶縁膜等の膜厚を非破壊で測定可能です。測定可能ウエハーサイズは4、6、8インチです。