施設紹介
クリーンルーム
大型クリーンブースによるクラス100以下の室内環境が整備可能です。また、有機溶剤／特化物等取扱いに伴う作業環境整備も可能です。
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管理実力値 |
大型クリーンブース クラス1k設計（実力値 50以下） |
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関連設備 |
集塵機 |
超純水システム
各種廃液を専用タンクに移送。濃度／薬品により廃棄物として処理を行える環境は整備可能です。
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能 力 |
比抵抗 12MΩ以上 |
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関連設備 |
前処理システム |
コンプレッサーシステム（ドライエアー精製システム）
供給露点は最大-70℃まで、供給圧力は最大0.7Mpaまで整備可能です。
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能 力 |
露点 -40℃以下 |
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関連設備 |
大型コンプレッサー |
窒素供給システム
供給純度最大は99.999％まで、供給露点は最大-70℃まで整備可能です。
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能 力 |
露点 -40℃以下 |
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関連設備 |
膜式窒素発生装置 |
除害システム
MAK-025
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処理方式 |
乾式処理剤（トムクリーン）による化学吸着処理 |
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処理ガス |
SiH4、NH3、分解副生成物（HF、SiH4、SO2） ／ プロセス総排気流量は約40L/min |
MAK-100（屋内用1筒式）
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処理方式 |
乾式処理剤（トムクリーン）による化学吸着処理 |
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処理ガス |
SiH4、NH3、分解副生成物（HF、SiH4、SO2） ／ プロセス総排気流量は約120L/min |
