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ウエハー加工事業部では、スパッタリング成膜の保有ターゲットが増えました。

Ti / Cu / Cr / Ni / Al /  AlCu / NiCr / Ta / TaN / TiW / TiN / AlSi / Al2O3 / NiV / Ta2O5 / Al-Si-Cu

などのターゲットを保有、その他膜種も検討可能です。

ぜひお気軽にお問合せください。