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弊社ではこれまでCVDによる酸化膜、窒化膜加工の受託を行っておりましたが、この度、スパッタリング装置の導入により金属成膜加工も可能になりました。

遮光や反射用として、または電極として、お客様のご要望にお応えできるよう、今後も様々な金属や合金に対応して参ります。

現在対応可能な膜腫は、単一金属膜：Cr, Cu, Ni, Ti　／　合金膜：Ag-Pd-Cu　／　ウエファーサイズ：4inch、6inch、8inchとなります。

なお、その他の金属膜につきましても適宜対応致します。ぜひお気軽にお問合せくださいませ。