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これまでのスパッタ成膜における対応ウエハサイズはΦ3″,Φ4″,Φ6″,Φ8″でしたが、新しくΦ12″の対応が可能になりました。

●保有ターゲット：Ti,Cu,Cr,Ni(その他検討可能)
●対応ウエハサイズ：3inch,4inch,6inch,8inch,12inch(異形基板は要相談)

上記以外の金属、異形基板についてはお気軽にご相談ください。お客様のご要望に応えられるよう、今後とも新技術を導入して参ります。